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论文成果
BEOL-Compatible Atomic-Layer-Deposited In-rich InGaO TFTs with High Positive-Gate-Bias-Stress Stability
发布时间:2023-04-04
点击次数:
发表刊物:
IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference
备注:
J Zhang, Z Zhang, D Zheng, A Charnas, Z Lin, and P. D. Ye
是否译文:
否
发表时间:
2022-01-01
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Atomically-thin atomic-layer-deposited InZnO transistors with BEOL compatibility
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First Demonstration of BEOL-Compatible Ultrathin Atomic-Layer-Deposited InZnO Transistors with GHz Operation and Record High Bias-Stress Stability