科学研究

科研项目

研究概况

    实验室规划围绕“材料生长 + 结构表征 + 器件制备 + 性能测试 + 人工智能”一体化平台展开,拟配置自动CVD、ALD、转移台、机械手、微型拉曼、微型AFM、激光直写光刻、等离子体刻蚀、金属热蒸镀、光电测试系统、电学测试与半导体分析仪等设备,支撑低维材料到芯片器件的全流程研究。规划材料还展示了实验室空间分区与自动化机械臂协同布局


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